雲龍-FNY-100G ALD

雲龍-FNY-100G ALD Technical Specifications

系統配置

1.尺寸 (長(cháng) x 寬 x 高(gāo))

單體(tǐ) 1200mm x 1200mm x 1850mm

包括

2.重量 (KG)

單體(tǐ) 287Kg

3.電(diàn)源

單體(tǐ) 14kW/37A/380VAC

4.基礎系統功能(néng)及配置

微(wēi)納顆粒的(de)原子(zǐ)沉積包覆設備

基本功能(néng)

可(kě)在微(wēi)納顆粒樣品上(shàng)實現(xiàn) ALD膜層 生(shēng)長(cháng)工(gōng)藝

樣品重量

克級别粉末，優化(huà)工(gōng)藝一(yī)般推薦 100g 以內(nèi)

工(gōng)藝溫度

工(gōng)藝溫度範圍從(cóng)室溫到(dào) 300°C

工(gōng)藝配件(jiàn)

配備 ALD 工(gōng)藝套件(jiàn)，具有(yǒu)高(gāo)溫密封和(hé)優化(huà)氣流設計(jì)

5.特色

內(nèi)外(wài)腔體(tǐ)設計(jì)， 可(kě)自(zì)動運行(xíng) ALD 靜(jìng)态及動态模式

包括

專利設計(jì)的(de)可(kě)拆卸式旋轉反應釜，實現(xiàn)工(gōng)藝中粉體(tǐ)的(de)均勻分(fēn)散，易于清洗及操作(zuò)， 保證工(gōng)藝重複性

包括

最高(gāo)工(gōng)藝溫度 300 °C，為(wèi)多(duō)膜系研發開(kāi)發設計(jì)

包括

多(duō)閥組設計(jì)，實現(xiàn)最佳前驅體(tǐ)輸送控制(zhì)， 保證可(kě)重複性和(hé)易于維護

包括

共 4 路(lù)固體(tǐ)液體(tǐ)源， 2 路(lù)反應氣體(tǐ)，專有(yǒu)的(de) ALD 源及&nb✔sp;ALD 高(gāo)溫全自(zì)動 自(zì)清潔閥組

包括

多(duō)道(dào)安全控制(zhì)， 可(kě)編輯配方，完整的(de)數(shù)據記錄和(hé)易于使用(yòng)的(de) GUI 界面

包括

多(duō)種定制(zhì)化(huà)選項

可(kě)選