蟠龍-LNY-20KG CVD

蟠龍-LNY-20KG  CVD Technical Specifications

系統配置

1.尺寸 (長(cháng) x 寬 x 高(gāo))

單體(tǐ) 5550mm×2320mm×5310mm

包括

2.重量 (KG)

單體(tǐ) 8300Kg

3.電(diàn)源

單體(tǐ) 88KW  380 VAC   180A

4.基礎系統功能(néng)及配置

微(wēi)納顆粒氣相(xiàng)沉積包覆設備

基本功能(néng)

可(kě)在微(wēi)納顆粒樣品上(shàng)實現(xiàn) 氣相(xiàng)原子(≈zǐ)層沉積  膜層生(shēng)長(cháng)工(gōng)藝

樣品重量

克級别粉末，優化(huà)工(gōng)藝一(yī)般推薦 20kg 以內(nèi)

工(gōng)藝溫度

工(gōng)藝溫度範圍從(cóng)室溫到(dào) 900°C

工(gōng)藝配件(jiàn)

配備 氣相(xiàng)沉積包覆工(gōng)藝套件(jiàn)，具有(yǒu)高(gāo)溫密封和(hé)優化(huà)氣流設計(jì)

5.特色

高(gāo)溫反應腔體(tǐ)設計(jì)， 可(kě)自(zì)動運行(xíng)流化(huà)

包括

底部攪拌系統，實現(xiàn)工(gōng)藝中粉體(tǐ)的(de)均勻分(fēn)散，易于清潔及操作(zuò)， 保證工(gōng)©藝重複性

包括

最高(gāo)工(gōng)藝溫度 900 °C，為(wèi)多(duō)膜系研發開(kāi<)發設計(jì)

包括

有(yǒu)上(shàng)下(xià)料罐設計(jì)，可(kě)以實現(xiàn)自(zì)動連續的(de)€加工(gōng)和(hé)實驗

包括

共 4 路(lù)氣體(tǐ)注入管道(dào)， 可(kě)以注入3種不(bù)同工(gōng)藝氣體(tǐ)，有(yǒu)惰性氣體(tǐ)沖洗設計(jì)，可(kě)以避免§危險氣體(tǐ)在管道(dào)內(nèi)的(de)殘留

包括

多(duō)道(dào)安全控制(zhì)， 可(kě)編輯配方，完整的(de)數(shù)據記錄和(hé)易于使用(yòng)的(de) GUI 界面

包括

多(duō)種定制(zhì)化(huà)選項

可(kě)選