青龍-LNY-1KG CVD

青龍-LNY-1KG  CVD Technical Specifications

系統配置

1.尺寸 (長(cháng) x 寬 x 高(gāo))

單體(tǐ) 1200mm x 800mm x 1850mm

包括

2.重量 (KG)

單體(tǐ) 267Kg

3.電(diàn)源

單體(tǐ) 4kW/18A/220VAC

4.基礎系統功能(néng)及配置

微(wēi)納顆粒濕法包覆設備

基本功能(néng)

可(kě)在微(wēi)納顆粒樣品上(shàng)實現(xiàn) 濕法原子(zǐ)層膜層生(shēng)長(cháng)←工(gōng)藝

樣品重量

1公斤級别粉末，優化(huà)工(gōng)藝一(yī)般推薦 800g 以內(nèi)

工(gōng)藝溫度

工(gōng)藝溫度範圍從(cóng)室溫到(dào) 80°C

工(gōng)藝配件(jiàn)

配備濕法混料包覆的(de)工(gōng)藝套件(jiàn)，具有(yǒu)高(gāo)溫密封和(hé)優化(huà)氣流設計(jì)

5.特色

流化(huà)腔體(tǐ)設計(jì)，全不(bù)鏽鋼反應釜，可(kě)自(zì)動運行(xíng)濕¶法流化(huà)的(de) 靜(jìng)态及動态模式

包括

專利設計(jì)的(de)可(kě)拆卸式流化(huà)反應釜，實現(xiàn)工(gōng)藝中粉體(tǐ)的(de)均勻分(fēn)散，易于清'洗及操作(zuò)， 保證工(gōng)藝重複性

包括

最高(gāo)工(gōng)藝溫度 80 °C，為(wèi)多(duō)膜系研發開(kāi)發設計(jì)

包括

兩路(lù)噴霧嘴設計(jì)，實現(xiàn)最佳包覆物(wù)輸送控制(zhì)， 保證可(kě)重複性和∑(hé)易于維護

包括

多(duō)道(dào)安全控制(zhì)， 可(kě)編輯配方，完整的(de)數(shù)據記錄和(hé)易于使用(yòng)的(de) £;GUI 界面

包括

多(duō)種定制(zhì)化(huà)選項（更高(gāo)溫度，真空(kōng)系統）

可(kě)選